Aginomoto 연속 결정화 공정
개요
본 발명은 기판 상에 결정질 반도체 층을 형성하기 위한 장치 및 방법을 제공한다.
반도체층은 증착에 의해 형성된다. 반도체 층을 결정질 층으로 펄스 레이저 용융/재결정화 공정을 진행합니다. 레이저 또는 다른 펄스형 전자기 방사선은 파열되어 치료 구역 위에 균일하게 분포되고 상기 파열에 인접한 처리 구역에 연속적으로 노출되어 점진적으로 증착된 재료가 결정질 재료로 변환됩니다. 연속적인 공급 및 방전, 모든 액체의 농도, 온도, 결정 슬러리 밀도 및 결정 크기 분포는 결정화 과정 동안 변하지 않습니다.
1. 지속적인 생산 표준에 적응하기 위해 지속적인 생산 공정 제어 정확도가 더 높고, 생산량이 많고, 생산이 안정적이며, 미래 산업화 기술 발전 추세 중 하나인 다른 공정 단계와 연결하는 것이 편리합니다.
2. 결정화 수율을 크게 향상시킬 수 있으며 모액에서 손실된 생성물을 다단계 역류 방법을 통해 회수할 수 있으며 법적 요구 사항을 충족하고 유해한 고형 폐기물의 생성을 크게 줄일 수 있습니다.
3. 다단계 역류법을 통하여 제품의 순도를 효과적으로 향상시킬 수 있고, 주산물과 불순물의 분리도를 크게 하여 주산물의 함량을 더욱 높일 수 있으며, 제품의 품질을 향상시킬 수 있습니다. 최종 제품이 개선될 수 있습니다.
4. 배치 간의 편차를 최소화하십시오. 전자동 제어와 온라인 모니터링을 통해 수동 조작으로 인한 편차와 사전 단계로 인한 불안정성을 줄일 수 있습니다.
MSG 단일 효과 결정화 용기의 지하에서 장치는 이중 효과, 상승 필름, 감압 증발, 신선한 증기가 1차 효과에 열을 제공하는 공정을 채택하고 원래 공정과 비교하여 이 장치는 증기 소비를 50% 줄입니다. 결정화는 오슬로가 자체 개발한 교반이 필요 없는 용출 결정화 장치입니다.
장치는 제어하기 위해 자동 프로그램을 채택합니다.
셋째, 프로세스 흐름도
